|
การวิจัยและพัฒนาการเคลือบฟิล์มบางด้วยวิธีสปัตเตอริง /สุพัฒน์พงษ์ ดำรงรัตน์, พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ, พิษณุ เจริญสมศักดิ์ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การวิจัยและพัฒนาการเคลือบฟิล์มบางด้วยวิธีสปัตเตอริง / |
| Creator | สุพัฒน์พงษ์ ดำรงรัตน์ |
| Contributor | พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ, พิษณุ เจริญสมศักดิ์ |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2531 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, วิธีสปัตเตอริง, การเคลือบฟิล์มบาง |
