จิระวัฒน์ เกลื้อนรัตน์. (2550) การศึกษาฟิล์มบางซิลิกอน ที่เคลือบด้วยกระบวนการดีซีสปัตเตอริง และอาร์เอฟสปัตเตอริง /. มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์,:ม.ป.ท.จิระวัฒน์ เกลื้อนรัตน์. 2550. การศึกษาฟิล์มบางซิลิกอน ที่เคลือบด้วยกระบวนการดีซีสปัตเตอริง และอาร์เอฟสปัตเตอริง /. ม.ป.ท.:มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์,;จิระวัฒน์ เกลื้อนรัตน์. การศึกษาฟิล์มบางซิลิกอน ที่เคลือบด้วยกระบวนการดีซีสปัตเตอริง และอาร์เอฟสปัตเตอริง /. ม.ป.ท.:มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์, 2550. Print.